synchrotron)의 궤도(orbit)인 대형 링 속에서 전자를 고속도로 회전시키다가 전기장을 걸어 운동방향을 전환시킴으로써 복사(radiation)시킬 수 있다. 따라서 이렇게 해서 얻은 X선을 싱크로트론복사광(약칭 SOR 또는 SR)이라 한다. 지금까지 SOR를 얻는 데 지름 100m 이상의 대형 링이 사용되고 있지만, 세계 각국
Decreasing the wavelength even further into the x-ray range yields so-called x-ray lithography.
- x-ray 영역범위에서 파장을 더욱더 감소시킬 때 이것을 x-ray lithography라 한다.
For these short wavelengths it is not possible to set up an optical path neither in reflection optics nor in refraction optics.
- 이러한 짧은 파장들은 광학 경로에서 reflection opt
◎ Lithography
1. Lithography란?
① Lithography 란 그리스어에서 파생된 말이다.
즉, 돌(Litho)과 인쇄(Graphy)의 합성어로 석판 인쇄술을 말한다.
백과사전에는 치밀하고 부드러운 다공질인 석회석에 직접 또는 간접으로 그린 것을 판으로 하여 인쇄하는 기법으로 정의되어 있다. 반도체에서 사용되는 Lithography 는
서 론
● 앵커: 10년쯤 지나면 인터넷으로 냄새까지 전달할 수 있고 또 한 번만 충전하면 2개월 이상 휴대전화를 사용할 수 있게 될 것으로 보입니다.
미래 사회를 변화시킬 새로운 IT기술들을 홍기백 기자가 소개해 드립니다.
● 기자: 현실 세계를 그대로 보는 것 같은 3차원 입체영
2.양성 PR과 음성 PR의 화학식, 구조식 작동원리에 대해 설명하라
1.Photolithography란?
Photolithography 공정은 어떤 특정한 화학약품(Photo resist)이 빛을 받으면 화학반응을 일으켜서 성질이 변화하는 원리를 이용하여, 얻고자 하는 pattern의 mask를 사용하여 빛을 선택적으로 PR에 조사함으로써 mask의 patter